SJ6000激光干涉儀檢測(cè)設(shè)備采用高性能氦氖激光器、激光縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)以及納米級(jí)的分辨率，集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品配置

（依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)）

產(chǎn)品特點(diǎn)

SJ6000激光干涉儀檢測(cè)設(shè)備具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可以檢測(cè)線性、角度、直線度、垂直度等幾何參量的高精度測(cè)量，可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。

測(cè)量機(jī)床垂直度

測(cè)量機(jī)床定位精度

WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

注意事項(xiàng)

1）對(duì)角線測(cè)量套裝配置需求：對(duì)角線測(cè)量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡

2）平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

3）平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

4）短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

5）長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

6）直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

配件與證書(shū)

SJ6000激光干涉儀以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)，SJ6000激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。內(nèi)置各種類國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。